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本发明公开了一种半导体器件阵列的参数确定方法和装置，其中，该方法包括：获取对多个规模的阵列的物理参数进行采样后得到的采样结果；对于每个规模的阵列，根据该阵列的采样结果和该阵列的规模确定用于表示该阵列的采样结果与规模之间关系的关系参数；对多个...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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