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一种原位构建微纳器件的方法技术
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文档序号:1406066
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本发明公开了一种微纳器件的原位构建方法,特别是利用无掩模光刻技术原位构建微纳器件的方法,它是将纳米材料置于电极之间并且与电极相连的一种新方法。其工艺过程为:纳米材料在基底上的分布、匀胶、通过无掩模光刻机定位纳米材料、原位设计曝光图形并曝光、...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。
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