【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微纳器件的原位构建方法,其特征在于,包括以下步骤: (1)将纳米材料分布在衬底基片上; (2)在基片上涂胶,包括匀胶; (3)运用无掩模光刻机的显微系统查找纳米材料的位置,再运用无掩模光刻机原位设计待曝光电极的图形,使 纳米材料连接于电极图形之间; (4)运用无掩模光刻机原位曝光,然后显影、定影; (5)在基片上沉积金属电极层、剥离,最后得到纳米材料连接于电极之间并位于电极之下的微纳器件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李秋红,王太宏,赵亨,
申请(专利权)人:湖南大学,
类型:发明
国别省市:43[中国|湖南]
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