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在半导体腔室中的晶片旋转制造技术
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下载在半导体腔室中的晶片旋转的技术资料
文档序号:14020266
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提供一种用于处理基板的方法与设备。该设备包括基座与旋转构件,基座与旋转构件可移动地设置在处理腔室内。旋转构件适配成旋转设置在腔室中的基板。在处理期间,基板可由边缘环支撑。边缘环可选择性地啮合基座或旋转构件。在一个实施例中,在沉积工艺期间,边...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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