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本发明涉及一种光刻设备，包括：第一物体；第二物体，可沿移动方向相对于第一物体移动；一组缆线和/或管材，布置于所述第一物体和所述第二物体之间；引导筒，用以引导所述一组缆线和管材，所述引导筒可绕垂直于所述移动方向延伸的旋转轴线旋转；筒定位装置，...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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