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用于基于鳍状物的NMOS晶体管的高移动性应变沟道制造技术
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下载用于基于鳍状物的NMOS晶体管的高移动性应变沟道的技术资料
文档序号:13902343
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公开了用于将高移动性应变沟道并入到基于鳍状物的NMOS晶体管(例如,诸如双栅极、三栅极等的FinFET)内的技术,其中,将应力材料包覆到鳍状物的沟道区域上。在一个示例实施例中,将锗或硅锗膜包覆到硅鳍状物上,以便于提供鳍状物的核心中的期望的拉...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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