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一种用于移除MEMS芯片Cap的移除装置，MEMS芯片包括位于其底部的基板、设置在基板上的MEMS元件和ASIC以及通过黏合剂粘合到基板上的MEMS Cap，其中，MEMS元件和ASIC位于基板和MEMS Cap之间，移除装置包括加热器和吹...
该专利属于深圳宜特检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳宜特检测技术有限公司授权不得商用。

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