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选择性外延生长的基于III-V材料的器件制造技术
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下载选择性外延生长的基于III-V材料的器件的技术资料
文档序号:13825334
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实施例包括基于III‑V材料的器件,其包括:在硅衬底上的基于第一III‑V材料的缓冲层;在基于第一III‑V材料的缓冲层上的基于第二III‑V材料的缓冲层,第二III‑V材料包括铝;以及在基于第二III‑V材料的缓冲层上的基于III‑V材料...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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