专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
瑞萨电子株式会社
>
半导体器件及其制造方法技术
>技术资料下载
下载半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:13794054
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的实施例涉及半导体器件及其制造方法。本发明的目标是提供一种具有较少开裂或剥离的半导体器件及其制造方法。半导体器件的熔丝部分具有被电耦合至SRAM存储器单元的位线。位线由层间绝缘膜覆盖。作为层间绝缘膜,形成掺杂硼的BPTEOS膜。位线在...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。