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本发明涉及晶圆生产设备技术领域，尤其涉及一种真空吸笔。真空吸笔包括真空吸笔主体和真空吸头，所述真空吸笔主体与外界气源连接，真空吸头上设置有吸附孔，其还包括柔性连接件，所述真空吸笔主体和真空吸头通过柔性连接件连接。在本发明中由于真空吸笔采用柔...
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