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半导体器件制造技术
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文档序号:13587416
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本发明提供了一种半导体器件,其包括:包括以矩阵设置的多个存储器单元的存储器单元阵列;以及与所述存储器单元阵列相邻的周边电路。所述存储器单元中的每一个包括:电容元件,包括具有在与基板的主表面垂直的方向上延伸的柱面形状的下电极;以及设置在所述电...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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