下载一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法的技术资料

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本发明提供一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理;然后采用线性离子束沉积法,通入碳源气体沉积类金刚石薄膜,在类金刚石薄膜沉积过程中通入Ar气体,使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行。利...
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