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通过p型钝化实现增强型HEMT的方法及增强型HEMT技术
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下载通过p型钝化实现增强型HEMT的方法及增强型HEMT的技术资料
文档序号:13548602
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本发明公开了一种通过p型钝化实现增强型HEMT的方法,其包括:提供主要由第一、第二半导体组成的异质结构,所述第二半导体分布于第一半导体上,并具有宽于第一半导体的带隙,且所述异质结构中形成有二维电子气;在所述第二半导体上形成p型掺杂的第三半导...
该专利属于苏州能屋电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州能屋电子科技有限公司授权不得商用。
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