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一种用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法，包括：对SOI片进行清洗；淀积二氧化硅层；形成两个压阻以及电学连接线；光刻和刻蚀，形成窗口；刻蚀出局域修饰区，在双端固支梁的表面生长金属薄膜；生长掩膜层；在窗口内掩膜层的表面刻蚀；刻蚀...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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