下载一种平面分离双栅薄膜晶体管的技术资料

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本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种平面分离双栅薄膜晶体管。所述平面分离双栅薄膜晶体管,自下而上依次包括衬底、过渡层、栅电极层、绝缘栅介质层、半导体有源层、源电极/漏电极,所述源电极和漏电极相对设置于所述半导体有源层上方;所述栅电极层由...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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