下载能立即对工件进行作业的系统的技术资料

文档序号:13463602

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本发明提供一种能立即对工件进行作业的系统。该系统利用罩覆盖精密加工/测定装置与向该装置搬运工件的机器人,由分隔罩隔开由该罩覆盖的空间,分隔为设置精密加工/测定装置的空间与设置机器人的空间。并且,当设置机器人的空间的内部温度处于预先设定的范围...
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