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用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法技术
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下载用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法的技术资料
文档序号:13422566
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描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚,其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料;具有一个或多个出口的分布管,其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通,并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转;以及用于所述分布管的支撑件,其中所述...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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