用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法技术

描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例涉及有机材料的沉积、用于有机材料的源以及用于有机材料的沉积设备。本专利技术的实施例尤其涉及用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备以及用于沉积有机材料的方法。
技术介绍
有机蒸发器是一种用于有机发光二极管(OLED)的生产的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用在电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置等的制造以用于显示信息。OLED也可用于一般的空间照明。由于OLED像素直接发射光且不要求背光，OLED显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器的范围。因此，OLED显示器的能耗大幅低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可被制造在柔性基板上的事实带来了进一步的应用。例如，典型的OLED显示器可包含位于两个电极之间的多个有机材料层，所述多个有机材料层以形成具有可独立供能的像素的矩阵显示面板的方式而全都沉积在基板上。OLED一般被放置在两个玻璃面板之间，并且密封所述玻璃面板的边缘以将OLED封装于其中。在这类显示器装置的制造中遇到很多挑战。在一个示例中，具有将OLED封装在两个玻璃面板之间来防止可能的装置污染所需的许多劳动密集型步骤。在另一个示例中，不同尺寸显示器屏幕以及由此产生的不同尺寸的玻璃面板可能要求基本上重新配置用于形成显示器装置的工艺和工艺硬件。总体上，存在对在大面积基板上制造OLED装置的期望。在大规模OLED显示器的制造中，带来各种挑战的一个步骤是对基板的掩模，例如用于沉积图案化的层。另外，已知的系统典型地具有小的总材料利用率，例如小于50％。因此，对于用于形成OLED显示器装置的新的、改进的设备和方法，存在持续的需要。
技术实现思路
鉴于上述内容，提供一种用于有机材料的改进的蒸发源、用于蒸发有机材料的改进的沉积设备以及蒸发有机材料的方法。通过从属权利要求、描述和附图，本专利技术的实施例的进一步的方面、优点和特征将变得显而易见。根据一个实施例，提供了用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包含蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；具有一个或更多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接到第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移移动。根据另一实施例，提供了用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备。所述沉积设备包含：处理真空腔室；用于有机材料的蒸发源，其中所述蒸发源在所述处理真空腔室中蒸发所述有机材料；以及基板支撑系统，设置在所述蒸发腔室中并且具有至少两个轨道，其中所述基板支撑系统的轨道(例如，每一个轨道)配置成用于在所述真空腔室中对所述基板或携载所述基板的载具的基本上竖直的支撑。所述蒸发源包含：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发有机材料；具有一个或更多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接到第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移移动。根据又一实施例，提供用于蒸发有机材料的方法。蒸发有机材料的方法包含以下步骤：将所述第一基板移动到基本上竖直的第一处理位置中；当蒸发源蒸发所述有机材料时，至少利用平移移动、沿第一基板来移动所述蒸发源；将所述第二基板移动到基本上竖直的第二处理位置中，所述第二处理位置与所述第一处理位置不同；在蒸发期间绕轴旋转蒸发源的分布管；以及当所述蒸发源蒸发所述有机材料时，至少利用平移移动、沿所述第二基板来移动所述蒸发源。附图说明因此，为了能够详细地理解本专利技术上述特征的方式，可通过参照各实施例对上文中简要概述的本专利技术作出更具体的描述。附图有关于本专利技术的实施例并且描述如下：图1A至1D示出示出根据本文所述的实施例的用于有机材料的蒸发源的示意图，该蒸发源处于根据本文所述的更进一步的实施例的沉积设备的真空腔室中的不同沉积位置处；图2示出根据本文所述的实施例的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备的示意性俯视图；图3示出根据本文所述的实施例的用于在真空腔室中沉积有机材料的另一沉积设备的示意性俯视图；图4A和4B示出根据本文所述的实施例的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备以及处于真空腔室中的不同位置处的根据本文所述的实施例的用于有机材料的蒸发的蒸发源示意性侧视图；图5A和5B示出根据本文所述的实施例的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备以及处于真空腔室中的不同位置处的根据本文所述的实施例的用于有机材料的蒸发的多个蒸发源的示意图；图6示出根据本文所述的实施例的具有至少两个沉积设备和用于有机材料的蒸发的蒸发源的系统的示意图；图7A和7B示出根据本文所述的实施例的蒸发源的多个部分的示意图；图7C示出根据本文所述的实施例的另一蒸发源的示意图；图8A和8B示出根据本文所述的实施例的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备以及处于真空腔室中的不同位置处的根据本文所述的实施例的用于有机材料的蒸发的多个蒸发源示意图；图9示出根据本文所述的实施例的用于在一真空腔室中沉积有机材料的另一沉积设备的示意图。图10示出描绘根据本文所述的实施例的用于蒸发有机材料的方法的流程图。具体实施方式现在将详细参考本专利技术的各种实施例，这些实施例的一个或多个示例在附图中描绘。在以下对于附图的描述中，相同的参考数字来指示相同的部件。总体上，仅描述相对于单独实施例的区别。每个示例通过解释本专利技术的方式来提供并且不意味着作为本专利技术的限制。另外，描绘或描述为一个实施例的部分的特征可被用在其他实施例上或与其他实施例结合使用以产生又进一步的实施例。本描述意在包含这样的修改和变型。图1A至1D示出位于真空腔室110中的各个位置处的蒸发源100。不同位置之间的运动由箭头101B、101C和101D所指示。根据本文所述的实施例，蒸发源配置成用于平移运动和绕轴旋转。图1A至1D示出具有蒸发坩锅104和分布管106的蒸发源100。分布管106由支撑件102来支撑。另外，根据一些实施例，蒸发坩锅104也可由支撑件102来支撑。两个基板121被提供在真空腔室110中。典型地，用于对基板上的层沉积的进行掩模的掩模132可被提供在基板与蒸发源100之间。如图1A至1图所示，有机材料从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于有机材料的蒸发源，包含：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；分布管，具有一个或多个出口，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及支撑件，用于分布管，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包含所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于有机材料的蒸发源，包含：
蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；
分布管，具有一个或多个出口，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中
所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及
支撑件，用于分布管，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包含所述第一驱动器，其
中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。
2.根据权利要求1所述的蒸发源，其中所述分布管是包含所述一个或多个出口的蒸气
分布喷头，其中特别地，所述蒸气分布喷头是线性的蒸气分布喷头。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管提供基本上竖直延伸的
线源，和/或其中旋转所述分布管的轴基本上竖直地延伸。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管可旋转至少160°，特别
是可旋转180°或至少360°。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管通过第二驱动器可绕着
所述轴旋转，所述第二驱动器相对于所述支撑件旋转所述分布管，并且特别地，所述第二驱
动器还相对于所述支撑件旋转所述蒸发坩锅。
6.根据权利要求5所述的蒸发源，其中所述支撑件包含支撑件外壳，配置成维持所述支
撑件外壳中的大气压，且其中所述支撑件经由可旋转的真空馈通件支撑所述分布管，所述
真空馈通件特别是铁磁流体馈通件。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管通过沿环形轨道行进而
可绕所述轴旋转。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸发源，还包含：
蒸发器控制外壳，配置成维持所述蒸发器外壳中的大气压力，其中所述外壳由所述支
撑件支撑，且配置成容纳选自下列各项构成的组的至少一个元件：开关、阀、控制器、冷却单
元以及冷却控制单元。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸发源，进一步包含：至少一个侧面防护罩，特别
...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·邦格特，U·舒斯勒，J·M·迭戈兹坎波，D·哈斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US