下载具有多个位错面的FinFET及其形成方法的技术资料

文档序号:13309899

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本发明提供一种FinFET器件,包括:位于衬底上方的第一半导体鳍部;位于衬底上方的第二半导体鳍部,其中,第一半导体鳍部和第二半导体鳍部被第一隔离区分隔开;连接至第一半导体鳍部和第二半导体鳍部的第一漏极/源极区;以及位于第一隔离区下面的第一位...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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