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一种碳化硅单晶生长用坩埚结构制造技术
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文档序号:13245422
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本发明公开了一种碳化硅单晶生长用坩埚结构,包括:坩埚本体,所述坩埚本体的内腔底部中心设置有凸起的埚底凸台,所述埚底凸台的高度不凸出于碳化硅原料。本发明能够提高原料的利用率、有效的降低产品的成本。...
该专利属于北京华进创威电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华进创威电子有限公司授权不得商用。
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