下载存储元件的制造方法的技术资料

文档序号:13244008

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本发明公开了一种存储元件的制造方法,包括以下步骤:提供衬底;于衬底上形成多个半导体鳍状结构;每一半导体鳍状结构包括第一掺杂区与基体区,第一掺杂区位于基体区上,以及相邻两个半导体鳍状结构之间具有沟道;于半导体鳍状结构的基体区与沟道底部的衬底中...
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