温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种柔性微机电系统（ＭＥＭＳ）换能器，包括：　　　　由柔性材料组成的衬底；　　　　沉积在该衬底上的薄膜层，该薄膜层具有预定长度的凸起部分；　　　　通过在该薄膜层上沉积导电材料形成的下电极层；　　　　通过在该下电极层上沉积压电聚合物形成的有源...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。