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用于制造半导体构件的方法以及半导体构件技术
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文档序号:1323649
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本发明涉及一种制造一个具有一个半导体载体(1)的半导体构件的方法,其中为形成无支护的用于一个构件的结构(3)而制造了一个平面的多孔的薄膜层(3)和一个在该多孔薄膜层(3)之下的凹槽(2)。本发明的任务是避免在制造时或者在有规则地出现的使用情...
该专利属于罗伯特-博希股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特-博希股份公司授权不得商用。
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