下载基于波前调制的可控激光加工装置的技术资料

文档序号:13235989

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本发明涉及一种基于波前调制的可控激光加工装置,包括激光加工头、照射模块、光电检测分析模块,照射模块和光电检测分析模块分别位于激光激光加工头激光出射机械边缘不同位置,照射模块的出射光束覆盖到激光加工头激光加工工作区域及周边区域,且照射模块出射...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。

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