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本发明公开了一种基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中低压强下极紫外吸收系数的测量往往需要很长的光程以及很高灵敏度的探测器，造成测量成本高的问题。本发明的测量方法，先在固定波长下，通过公式-ln...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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