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一种形成半导体集成电路(IC)的方法,该半导体IC在不考虑在IC的不同区中具有不同图案密度的情况下具有基本相等的栅极高度,该方法包括:提供在IC的第一区中具有第一图案密度和在IC的第二区中具有第二图案密度的衬底;在衬底之上形成第一多晶硅层,...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种形成半导体集成电路(IC)的方法,该半导体IC在不考虑在IC的不同区中具有不同图案密度的情况下具有基本相等的栅极高度,该方法包括:提供在IC的第一区中具有第一图案密度和在IC的第二区中具有第二图案密度的衬底;在衬底之上形成第一多晶硅层,...