下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:13173611

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体器件,包括:多个鳍片结构,在衬底上沿第一方向延伸;栅极堆叠结构,在衬底上沿第二方向延伸,跨越多个鳍片结构,其中栅极堆叠结构包括栅极导电层和栅极绝缘层,栅极导电层由掺杂的多晶半导体构成;沟道区,多个鳍片结构中位于栅极堆叠结构下方;源...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。