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本发明提供了一种遮蔽盘传输装置及反应腔室，该遮蔽盘传输装置包括遮蔽盘、用于承载遮蔽盘的传送臂和电磁固定器，电磁固定器设置在传送臂的承载遮蔽盘的对应位置处，遮蔽盘采用磁性材料制成，电磁固定器用于在其具有磁性时使位于传送臂上的遮蔽盘被磁化，以实...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。