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一种光刻方法，包括：指示光源产生脉冲光束；横跨光刻曝光装置的晶片扫描脉冲光束，以利用脉冲光束对晶片进行曝光；在横跨晶片的脉冲光束的扫描期间，接收晶片处的脉冲光束的特性；接收针对特定脉冲光束特性的晶片的物理性质的确定值；和基于扫描期间接收到的...
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