温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一个示例提供一种用于形成包括压印有图案以形成隔离器件区域的基板的装置的方法。一种方法可包括：用图案压印基板的未图案化区域，以便形成具有处于第一级的多个凹陷区域和处于第二级的多个隆起区域的图案化基板；以及将第一导电材料层沉积在该图案化基板上并...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。