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用于半导体等离子体设备中的水平调整装置，包括三角水冷块和三角支撑座，两者大小和形状相同，并通过锁紧螺母和调整螺栓连接。所述的锁紧螺母和调整螺栓与三角水冷块和三角支撑座接触的面为球面。本实用新型利用调整螺栓带动上方水冷块，进而使加热盘的水平度...
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