下载用于半导体等离子体设备中的水平调整装置的技术资料

文档序号:12994136

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

用于半导体等离子体设备中的水平调整装置,包括三角水冷块和三角支撑座,两者大小和形状相同,并通过锁紧螺母和调整螺栓连接。所述的锁紧螺母和调整螺栓与三角水冷块和三角支撑座接触的面为球面。本实用新型利用调整螺栓带动上方水冷块,进而使加热盘的水平度...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。