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本发明提供一种硅片组下线管控方法，通过对硅片组进行唯一编号的设置，以减少在拿取硅片组时发生错误几率；通过在获取硅片组后将其与制造执行系统上的LOT编号进行匹配，以对硅片组进行确认，从而可以避免发错硅片组的情况；又通过自动化设备将匹配后的硅片...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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