硅片组下线管控方法技术

本发明专利技术提供一种硅片组下线管控方法，通过对硅片组进行唯一编号的设置，以减少在拿取硅片组时发生错误几率；通过在获取硅片组后将其与制造执行系统上的LOT编号进行匹配，以对硅片组进行确认，从而可以避免发错硅片组的情况；又通过自动化设备将匹配后的硅片组进行下线操作，中途避免了因人工下线而导致的误操作等错误情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件制造领域，尤其涉及一种。
技术介绍
由于半导体生产工厂(Fab)中使用的硅片一般都是由供应商提供，而由供应商提供的硅片是按照一定的数量被装在硅片盒中的，为了便于管理，供应商通常都会在每个硅片盒上设置晶圆批次编号(LOT ID)，但是每个硅片盒的LOT ID并不是若干LOT ID中唯一的，可能存在多个硅片盒的LOT ID相同的情况。这样就会导致Fab在对这些硅片进行加工的时候，需要重新对其进行编号，以得到唯一的LOT ID。目前，由于大部分的Fab并没有建立的完善的硅片入库和MES配对机制，所以在硅片下线前，需要通过人工对需要下线的LOT进行配对，这就存在着两组或多组硅片互相用错的风险，如果该风险不及时排除，可能造成废片等生产事故，而对于该问题，现有的做法中除了加强二次检查(double check)的力度外，并没有其他更好的方法。中国专利(CN101276444A)公开了一种非成品晶圆的库存管理系统、库存管理方法及程序，包括:根据来自支出终端的库存查询，确认非成品晶圆的库存，受理指出请求并进行支出处理，并具有库存管理部，通过晶圆厚度区分并管理上述非成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片组下线管控方法，其特征在于，包括：步骤S1、提供具有编号且编号不重复的若干硅片组；步骤S2、在一个制造终端上产生LOT编号；步骤S3、根据硅片的种类，将所述硅片组的编号与LOT编号进行绑定；步骤S4、制定硅片组的投料计划，并根据该投料计划获取相应的硅片组；步骤S5、将获取的硅片组的编号与所述制造终端上的LOT编号进行匹配，以确定需要下线的硅片组的编号；步骤S6、所述制造终端根据该需要下线的硅片组的编号将对应的硅片组进行下线操作。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张寒汀，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31