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本发明公开了一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置...
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