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本发明公开了一种金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其包括金属蚀刻腔体，金属蚀刻腔体内部设置有用于气体传输的特气管道，以及用于产生磁场的磁场线圈；所述特气管道外部设置有管道防护装置，管道防护装置设置于磁场线圈于特气管道端面之上的投影位置；采用...
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