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带有读出电路的太赫兹波探测器制造技术
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下载带有读出电路的太赫兹波探测器的技术资料
文档序号:12818712
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一种带有读出电路的太赫兹波探测器,包括太赫兹波探测元件、放大器电路、模数转换器和低通数字滤波器。其中,太赫兹波探测元件包括天线、匹配网络以及用于探测的场效应晶体管;其中,天线将接收到的太赫兹波信号经过匹配网络传输给场效应晶体管的源极,场效应...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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