带有读出电路的太赫兹波探测器制造技术

一种带有读出电路的太赫兹波探测器，包括太赫兹波探测元件、放大器电路、模数转换器和低通数字滤波器。其中，太赫兹波探测元件包括天线、匹配网络以及用于探测的场效应晶体管；其中，天线将接收到的太赫兹波信号经过匹配网络传输给场效应晶体管的源极，场效应晶体管的栅极外接固定偏置，场效应晶体管漏极输出一与接收到的太赫兹波信号幅度成比例的直流探测信号，此直流信号经过放大器电路放大，放大器电路的输出信号经模数转换器转换为数字信号，输出的数字信号经低通数字滤波器滤除高频噪声而取出所需要的探测信号。本发明专利技术的太赫兹波探测器可在硅基工艺上实现，易于集成，面积小，可实现大规模阵列式的太赫兹波探测器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太赫兹波探测
，更具体地涉及一种带有读出电路的太赫兹波探测器。
技术介绍
太赫兹波是指频率在0.1THz?ITHz范围内的电磁波，其波段位于微米波和红外光之间。太赫兹波具有许多独特特点，例如太赫兹波的穿透特性使其可用于安检成像中，并且太赫兹波与许多生物大分子的振动同频，这也为生物医疗开辟了新的途径。由于目前太赫兹波光源辐射功率普遍比较低，从而导致现有太赫兹波探测元件输出探测信号小，信噪比低等缺点，目前太赫兹波探测器普遍需要外部光斩波器与锁相放大器系统才能将太赫兹波探测信号检测出来，其系统繁琐庞大，不易于实现阵列式的太赫兹波探测器。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的一个目的在于提供一种带有低噪声读出电路的可直接将探测到的太赫兹波信号数字化的太赫兹波探测器。本专利技术的另一目的在于提供一种可在硅基工艺上实现高度集成化的太赫兹波探测器。为了实现本专利技术的上述目的，本专利技术提供了一种带有读出电路的太赫兹波探测器，包括:太赫兹波探测元件，用于输出一与接收到的太赫兹波信号幅度成比例的直流探测信号;放大器电路，用于将所述太赫兹波探测元件输出的直流探测信号进行放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有读出电路的太赫兹波探测器，其特征在于，包括：太赫兹波探测元件，用于输出一与接收到的太赫兹波信号幅度成比例的直流探测信号；放大器电路，用于将所述太赫兹波探测元件输出的直流探测信号进行放大，并输出到模数转换器；模数转换器，用于将所述放大器的输出信号转换为数字信号，并输出到低通数字滤波器；低通数字滤波器，用于将输入的数字信号滤除高频噪声而取出所需要的探测信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朝阳，刘力源，吴南健，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11