下载磨削装置以及矩形基板的磨削方法的技术资料

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磨削装置以及矩形基板的磨削方法。磨削装置用于磨削矩形基板的正面或背面,其特征在于,具有:卡盘台,其具有吸附保持矩形基板的保持面;磨削单元,其以能够旋转的方式对磨削保持于该卡盘台上的矩形基板的磨削轮进行支撑;磨削进给单元,其使该磨削单元在与该...
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