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基板的输送方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:1276459
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一种单张输送方法及其装置,各台架100、200、300……分别通过台架堆料机130、230、330……连接到台架间输送线400。台架100由该场合的平面形状为环状的单张输送线120和沿其长度输送方向(与台架间输送线400的输送方向交叉的方向...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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