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一种高导热氮化硅陶瓷的制备方法技术
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文档序号:12736452
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本发明涉及一种高导热氮化硅陶瓷的制备方法,首先对Si3N4粉进行热处理和酸洗处理,然后配制Si3N4浆料,用流延工艺制备Si3N4薄层,对薄层切割叠层后得到多孔的氮化硅粉预制体。然后采用高纯硅粉对预制体进行液硅渗透,得到致密的Si3N4/S...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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