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包括带电荷穿通阻止层以降低穿通的CMOS器件及其制造方法技术
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下载包括带电荷穿通阻止层以降低穿通的CMOS器件及其制造方法的技术资料
文档序号:12693669
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公开了包括带电荷穿通阻止层以降低穿通的CMOS器件及其制造方法。根据实施例,一种CMOS器件包括n型器件和p型器件,其中,n型器件和p型器件各自均可以包括:在衬底上形成的鳍状结构;在衬底上形成的隔离层,其中鳍状结构在隔离层上方的部分充当该n...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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