下载氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶和半导体器件的技术资料

文档序号:12692023

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提供了:包括铟、钨和锌的氧化物烧结体,该氧化物烧结体包括红绿柱石型晶相作为主要成分,表观密度高于6.5g/cm3且等于或低于7.1g/cm3,并且钨含量与铟、钨和锌的总含量比高于1.2原子%且低于30原子%,且锌与铟、钨和锌的总计的含量比大...
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