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半导体生产约束管控方法技术
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文档序号:12585553
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本发明提供一种半导体生产约束管控方法,运用于制造执行系统中,通过在制造执行系统中的约束检测模块内增加约束实例以及相应的约束例外,且每个约束实例中均包括若干个约束因子,该约束因子可以任意组合,从而获得所需要的约束实例,因此可扩展性强,不拘泥于...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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