下载基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法的技术资料

文档序号:12543445

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本发明描述电子装置处理系统。所述系统包括:主机外壳,所述主机外壳具有移送腔室、第一面、与所述第一面相对的第二面、第三面及与所述第三面相对的第四面;第一转盘组件,所述第一转盘组件耦接至第一面;第二转盘组件,所述第二转盘组件耦接至所述第三面;第...
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