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一种8寸与12寸基板通用的平台结构，在不更换设备零部件的前提下，可实现两种产品生产模式的迅速切换。它包括：通用设备前端模块、通用负载模块、通用传片模块。其中，通用设备前端模块的机械手上使用的是通用机械手手指，由于该手指具有两层台阶，台阶B用...
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