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一种新型腔内陶瓷环，是将陶瓷环边缘尖角加工成圆角，利用圆弧过渡解决电荷堆积的技术问题。其具体结构：它包括晶圆、热盘及陶瓷环。所述陶瓷环的边缘加工有圆角，圆角包括陶瓷环外缘上角、陶瓷环外缘下角、陶瓷环内缘上角及陶瓷环内缘下角。所述陶瓷环外缘上...
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