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本发明涉及一种用于使产品基底从承载基底脱离的系统，其中所述产品基底通过连接层暂时地连接到所述承载基底以形成堆叠部，所述系统包括：支撑所述堆叠部的器件；分离器件，其初始化所述产品基底从所述承载基底脱离，所述分离器件具有从该连接层的周向边缘穿透...
该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。

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