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本发明提供一种漏电流的测试版图、检测结构及其检测方法，该测试版图模块包括在工艺流程前段形成的M个PN结二极管漏电流测试单元与位于金属层的经典漏电流测试单元相并联电路，该PN结二极管的P端接高电位，该PN结二极管的N端接低电位；该M个PN结二...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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