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在半导体处理设备中使用径向基函数网络与超立方体进行偏离分类制造技术
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下载在半导体处理设备中使用径向基函数网络与超立方体进行偏离分类的技术资料
文档序号:12355859
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一种数据分析方法与系统,包括产生第一节点,确定所述第一节点的第一超立方体,确定样本是否存在于所述第一超立方体内。若所述样本不存在于所述第一超立方体内,则所述方法包括确定所述样本是否存在于第一超球体内,其中所述第一超球体具有与所述第一超立方体...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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