在半导体处理设备中使用径向基函数网络与超立方体进行偏离分类制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容涉及人工神经网络，且更特定而言，涉及用于分析系统的径向基函数 网络。
技术介绍
人工神经网络可用于根据系统的已知数值分析系统中的操作。举例而言，使用者 可对分析传感器数据有兴趣，比如来自半导体处理设备的传感器数据。径向基函数（Radial BasisFunction，RBF)网络是使用径向基函数作为激活函数的人工神经网络。在典型RBF 网络中，RBF节点或神经元可用于确定节点的激活值，其中每一个节点都具有多个输入与 一个输出。RBF网络一般仅能区分正常值与异常值。RBF网络分析中的误差往往是误否定 (falsenegative)，且错误的结果往往随着维度数量（例如传感器数量）增加而增加。
技术实现思路
【附图说明】 在附图的图示中，通过举例的方式、而非通过限制的方式来对本公开内容加以说 明。 图1示出了网络架构的一个【具体实施方式】。 图2示出了一种RBF网络与超立方体分析方法的一个实施方式。 图3示出了一种RBF网络与超立方体分析方法的另一实施方式。 图4示出了一种示例性RBF网络。 图5示出了一种用于半导体处理设备的示例性RBF网络。 ...
【技术保护点】
一种方法，包括：由处理器产生第一节点；由所述处理器确定所述第一节点的第一超立方体；由所述处理器确定样本是否存在于所述第一超立方体内；及若所述样本不存在于所述第一超立方体内，则由所述处理器确定所述样本是否存在于第一超球体内，其中所述第一超球体具有与所述第一超立方体的对角线相等的半径。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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